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半導體老化柜（Burn-in Chamber）是用于對半導體器件（如集成電路、芯片、LED等）進行老化測試（Burn-in Test）的專業(yè)設備。其核心目的是通過模擬高溫、高電壓、高負載等嚴苛條件，加速潛在缺陷的暴露，篩選出早期失效產(chǎn)品，確保器件的可靠性和穩(wěn)定性。

主要功能與特點

1. 溫度控制

• 高溫老化：通常溫度范圍在室溫至150℃以上（部分可達200℃），通過恒溫或循環(huán)溫度變化加速老化。

• 精準控溫：采用PID算法或更先進的溫控系統(tǒng)，確保溫度均勻性（±1~2℃以內(nèi)）。

2. 電氣負載

• 提供動態(tài)或靜態(tài)的電信號（電壓/電流），模擬實際工作狀態(tài)。

• 支持多通道并行測試，可同時對大量器件施加不同負載。

3. 環(huán)境模擬

• 可選濕度控制（如85%RH）、氣壓調(diào)節(jié)（用于功率器件老化）。

• 部分設備支持氣體環(huán)境控制（如氮氣保護）。

4. 自動化與監(jiān)控

• 集成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)（DAQ），實時監(jiān)測電流、電壓、溫度等參數(shù)。

• 軟件自動記錄失效數(shù)據(jù)，支持統(tǒng)計分析（如Weibull分布）。

5. 安全防護

• 過流/過壓保護、煙霧報警、緊急斷電功能。

• 防靜電設計（ESD Protection）。